CCQ气动超高真空插板阀 产品说明
本发明涉及玻璃真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空系统用的真空插板阀。超高真空插板阀是通过手柄以螺杆传动推动钢球架运动，撑开阀板关闭，又靠弹簧力收拢阀板，打开后再退出的真空阀门。阀门适用于超高真空系统中接通或截止气流之用。

　　适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。

CCQ气动超高真空插板阀背景技术：

用于玻璃镀膜工艺的真空设备中，真空插板阀是任意两个相邻真空室之间必不可少的组成部件，其作用是当需要对单个真空室进行维护或者在单个真空室内更换材料时， 将相邻两个真空室隔绝，使真空室内的真空气氛不被破坏。 此阀门为气动驱动方式，在结构设计上合理，在外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，能广泛应用于超高真空设备中。阀门以压缩空气推动气缸，通过传动杆推（拉）动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接，完成阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。

 二、CCQ气动超高真空插板阀特点

轴封有波纹管密封和氟橡胶密封两种可选择，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计；

阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；

 阀体采用加强筋结构，体积小、重量轻，外形美观；

采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；阀板整体式结构，支撑力均匀。

目前常用的真空插板阀为翻板式结构，即在真空室内的工件通孔处设置真空插板阀，该真空插板阀主要为一个挡板，挡板顶部与真空室内的顶面铰接，当真空插板阀关闭时，挡板下翻，其侧面挡住工件通孔而实现密封，当真空插板阀打开时，挡板贴紧于真空室内的顶面。然而，该结构的真空插板阀由于挡板采用翻转式，所占的空间较大，真空插板阀关闭时由于挡板靠自重挡住工件通孔，挡板底部没有相应的固定机构，其密封效果不好；另外，该结构的真空插板阀必须设于真空室内部，其加工难度大，挡板易变形，日常的维护也相当困难。该结构的真空阀克服了传统真空插板阀气密性差的缺陷，但其结构复杂，各组成部件之间精度要求较高，因此其成本也较高。

主要技术性能

CCQ气动超高真空插板阀主要零件材料
 阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶。

CCQ气动超高真空插板阀外形及连接尺寸

真空系统用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通， 阀芯设于阀体内部，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部。

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